روش تهیه سلول خورشیدی سیلیکونی آمورف

روش‌های زیادی برای سلول‌های خورشیدی سیلیکونی آمورف وجود دارد، از جمله رسوب شیمیایی بخار افزایش یافته با پلاسما، کندوپاش واکنشی، تخلیه درخشش، تبخیر پرتو الکترونی و تجزیه حرارتی سیلان.
1. روش کندوپاش واکنشی: ابتدا از لیزر مادون قرمز برای لیزر نویسی زیرلایه شیشه ای رسانای TCO استفاده کنید. پس از لیزر اسکریپ، تمیز کردن اولتراسونیک را انجام دهید. پس از تمیز کردن بستر، آن را در یک دستگاه رسوب مخصوص قرار دهید و آن را به داخل فر فشار دهید تا از قبل گرم شود. پیش‌گرم‌کردن دستگاه پس از رسوب‌گذاری به داخل محفظه خلاء رسوب‌گذاری PECVD رانده می‌شود و سیلیکون آمورف با استفاده از فرآیند رسوب‌گذاری PECVD رسوب می‌کند. سپس از لیزر سبز برای انجام لیزر دوم بر روی بستر سیلیکونی آمورف رسوب شده استفاده می شود و تمیز کردن پس از خط زدن انجام می شود. سپس بستر تمیز شده با یک فیلم کامپوزیت الکترود پشتی فلزی با استفاده از فناوری PVD اندود می شود و لایه اکسید روی به عنوان یکی از لایه های کامپوزیت الکترود پشتی فلزی بر روی سطح لایه سیلیکونی آمورف قرار می گیرد و سایر لایه های الکترود پشتی فلزی رسوب می کنند. روی لایه اکسید روی؛ سپس از لیزر سبز برای انجام سومین خط زدن لیزر بر روی بستر با الکترود پشتی فلزی رسوب داده شده استفاده کنید و پس از خط زدن آن را تمیز کنید. تاکنون ساختار تراشه باتری شکل گرفته است. پس از آن، تراشه باتری لمینت و بسته بندی می شود و جعبه اتصال و سیم های سرب نصب می شود. در نهایت، تست عملکرد را بر روی قطعات انجام دهید و محصولات واجد شرایط را در جعبه ها بسته بندی کنید. بسته به اندازه و مشخصات ماژول های فتوولتائیک تولید شده، چرخه تولید به طور کلی سه تا چهار ساعت طول می کشد.
2. روش رسوب دهی بخار شیمیایی تقویت شده با پلاسما: یک سری اتاقک رسوب برای تشکیل یک برنامه مداوم در تولید برای رسیدن به تولید انبوه استفاده می شود. در عین حال، سلول خورشیدی سیلیکونی آمورف بسیار نازک است و می تواند به صورت انباشته ساخته شود یا با روش مدار مجتمع ساخته شود. در یک هواپیما، با یک فرآیند ماسک مناسب، می توان چندین سلول را در یک زمان به صورت سری ساخت تا ولتاژ بالاتری به دست آورد.
3. روش تخلیه براق: یک ظرف کوارتز تخلیه می شود، با سیلان رقیق شده با هیدروژن یا آرگون پر می شود، با یک منبع انرژی فرکانس رادیویی گرم می شود تا سیلان را یونیزه کند تا پلاسما تشکیل دهد، و فیلم سیلیکونی آمورف بر روی بستر گرم شده برتر قرار می گیرد.