لبه صاف یک ویفر سیلیکونی چیست؟
تخت را می توان لبه موقعیت یابی نیز نامید.
ویفرهای سیلیکونی 2، 4 و 6-اینچی کاملاً گرد نیستند، اما گوشهای از دست رفته است. پس از اینکه شمش سیلیکون به روش CZ بیرون کشیده شد، قبل از برش به ویفرهای سیلیکونی، پس از مشخص شدن جهت کریستالی، یک یا چند لبه صاف روی شمش با اره الماسی بریده می شود. بنابراین، ویفر سیلیکونی دارای 1-2 لبه های موقعیت یابی است، لبه موقعیت یابی بلند در پایین ویفر است و لبه موقعیت کوتاه در موقعیت خود ثابت نیست و با جهت کریستالی و نوع دوپینگ تغییر می کند.
رابطه بین موقعیت لبه موقعیت و جهت کریستالی چیست؟
به طور کلی سه نوع جهت گیری کریستالی برای ویفرهای سیلیکونی وجود دارد:<111> <110> <100>.
هنگامی که زاویه بین لبه موقعیت یابی اصلی و لبه موقعیت یابی ثانویه 45 درجه باشد، نوع ویفر سیلیکونی از نوع n است.<111>; هنگامی که زاویه بین لبه موقعیت یابی اصلی و لبه موقعیت ثانویه 90 درجه باشد، نوع ویفر سیلیکونی از نوع p است.<100>; هنگامی که زاویه بین لبه موقعیت یابی اصلی و لبه موقعیت یابی ثانویه 180 درجه باشد، نوع ویفر سیلیکونی از نوع n است.<100>. از آنجا که<110>جهت گیری کریستالی یک جهت گیری کریستالی ویفر سیلیکونی جریان اصلی نیست، هیچ استانداردی برای نشان دادن آن وجود ندارد. این<110>جهت گیری کریستالی را می توان با توجه به استانداردهای خود تامین کننده ویفر سیلیکونی نشان داد.
آیا طول لبه های موقعیت یابی اولیه و ثانویه ثابت است؟
بله، به دلیل اینکه آنها باید با تجهیزات تولید نیمه هادی مطابقت داشته باشند، طول و موقعیت لبه های موقعیت یابی اولیه، اولیه و ثانویه ثابت است.
به طور کلی، طول لبه موقعیت یابی اولیه ویفر سیلیکونی 2-اینچ 15.8 میلی متر، طول لبه موقعیت یابی اولیه ویفر سیلیکونی 4-اینچ 32.5 میلی متر و طول ویفر اولیه است. لبه موقعیت یک ویفر سیلیکونی 6-اینچی 57.5 میلی متر است. طول لبه صاف موقعیت ثانویه یک ویفر سیلیکونی 4-اینچ حدود 18 میلی متر است و طول لبه صاف موقعیت ثانویه یک ویفر سیلیکونی 6-اینچی حدود 22 میلی متر است.